Was ist das Funktionsprinzip der Turbomolekularpumpe?
Was ist das Funktionsprinzip der Turbomolekularpumpe? 4.9.1.1 Funktionsprinzip Turbomolekularpumpe Die Pumpwirkung einer Anordnung aus Rotor- und Statorschaufeln beruht auf der Impulsübertragung von den schnell rotierenden Schaufeln auf die zu pumpenden Gasmoleküle. Moleküle, die auf die Schaufeln treffen, werden dort adsorbiert und verlassen nach einer gewissen Zeit die Schaufel wieder. Wie hoch ist die kinetische Energie…
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